真空鍍膜機的真空室分為上下兩部分，下半部分分為左右兩部分。蒸發源位于下部的左右兩側。將目標材料放置在蒸發源上。當蒸發源啟動時，目標材料通過電阻加熱蒸發成膜。另外，在產品不成膜的另一側放置輝光放電發生器，產生放電氣體，使產品不會起皺。

　　真空鍍膜機的保養很重要，主要有這三項：

　　1、 應每200道鍍膜工序清潔一次工作間。

　　方法是用氫氧化鈉飽和溶液反復擦洗真空室壁（注意人體皮膚不能直接接觸，以免灼傷）。目的是使鍍在膜上的鋁與NaOH發生反應，反應后膜脫落，釋放氫氣。然后用清水清洗真空室，用沾有汽油的布清洗精抽閥內的污物。

　　2、 擴散泵連續使用6個月以上，泵速明顯減慢，或操作不當。將其灌入大氣，取下連接水管，取下電爐板，擰出一次噴嘴，用汽油清洗泵室和泵箱，然后用摻水的洗衣粉清洗，再用清水清洗。待水蒸發后，安裝泵箱，加入新的擴散泵油，將擴散泵回油安裝到機器上，連接水管，安裝電爐，然后重新啟動機器。重啟前注意檢漏。

　　方法是啟動檢修泵，關上門，幾分鐘后，觀察擴散泵真空度是否達到6x10pa，否則要進行檢漏。檢查接頭是否有密封膠圈，或密封圈是否壓壞。加熱前排除漏氣隱患，否則擴散泵油會燒壞油環，無法進入工作狀態。

　　3、 粗油泵（滑閥泵、旋片泵）連續工作一個月（雨季為半個月）時，需更換油。

　　方法是擰上打開的油螺栓，排干舊油，然后啟動泵幾秒鐘，使泵內的舊油*排出。擰上機油螺栓并向機油油位添加新機油（機油觀察鏡觀察）。連續使用半年以上的，換油時打開油蓋，用布擦凈箱內污垢。